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无尘室拥有的节能潜力
浏览次数:63 次  发布时间:2018-04-26  
无尘室是能量消耗大户,这是因为要保持洁净的生产环境所必需的空气洁净度等级、压差、温度、相对湿度要求;防止污染和交叉污染,无尘室内应根据产品生产过程的要求排除生产过程中产生的粉尘、热量、有机溶剂等所需的全室或局部排风装置,与此同时需向无尘室内送入相应的或必需的室外新鲜空气;根据不同的空气洁净度等级的要求需要有必须的换气次数/送风量。

为进行正常的产品生产,无尘室内的生产工艺设备需按产品的特点供应电力、纯气、纯水、高纯化学品等,这些也需消耗大量的能源,伴随着电力等能量的消耗,在无尘室内产生的各种形式的发热量还需进行冷却,有时这种需进行冷却的热负荷量是不可忽视的。

无尘室所需的净化空调系统的冷负荷与一般工业厂房或写字楼的一般空调系统的冷负荷相比,前者因空气洁净度等级和无尘室内生产工艺要求的不同,冷负荷大约为2093-6280kj/(㎡.h),而写字楼的一般空调系统的冷负荷仅335-502kj/(㎡/h).半导体集成电路制造或生物医药产品的主要生产工序都要求在无尘室内进行,为了保持所必须的空气洁净度等级,需要将大量的空气通过高效过滤后送入无尘室内,写字楼的一般空调房间的换气次数为10次.h-1以下,而大规模集成电路生产所需的5级(100级)、4级(10级)、3级(1级)无尘室的换气次数可能达数百次,其送风量将会比前者大数十倍以至百倍上,因此无尘室的净化空调系统及其制冷机的耗电量比其他类型建筑物的一般空调系统及其制冷机的耗电量大得多,据调查统计大规模集成电量约占工厂总耗电量的50%左右;制药工厂洁净厂房的净化空调系统及其制冷机的耗电量约占工厂总耗电量的60%左右。
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